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電子材料

ヘキサクロロジシラン

構造式
13465-77-5
ヘキサクロロジシラン
CASNo. 13465-77-5
英文名 HEXACHLORODISILANE
メーカー -
分子式 Cl3-Si-Si-Cl3
原産国 -
分子量 -
純度FWM.pB.pDensity
> 99.8% 269.0 -1℃ 144.5℃ 1.56r/cm3

使用用途

低温CVD成膜( SiN 窒化シリコン)、ALD

輸送情報

UN番号 2987
Class 8
PG
採用情報

プライバシーマーク