電子材料
ヘキサクロロジシラン
| 構造式 |
|---|
 |
| ヘキサクロロジシラン |
| CASNo. | 13465-77-5 |
| 英文名 | HEXACHLORODISILANE |
| メーカー | - |
| 分子式 | Cl3－Si－Si－Cl3 |
| 原産国 | - |
| 分子量 | - |
| 純度 | FW | M.p | B.p | Density |
|---|---|---|---|---|
| ＞ 99.8％ | 269.0 | -1℃ | 144.5℃ | 1.56r/cm3 |
使用用途
低温CVD成膜( SiN 窒化シリコン)、ALD
輸送情報
| UN番号 | 2987 |
|---|---|
| Class | 8 |
| PG | Ⅱ |
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